TENSOR 4D-SEM

TENSOR 是世界上第一台专业用于多模态表征功能材料、薄膜、天然和合成颗粒的纳米形态、化学和结构特性的4D-STEM,具有出色的4D-STEM性能和前所未有的普遍适用性。

TENSOR：一台像扫描电镜一样易于使用的 STEM

科学家、工程师、技术人员或是学生们，都一直想要一种能轻松使用的TEM 解决方案，它可以在不需要数周或数月的复杂电子光路调整和校准培训的情况下轻松使用。TENSOR 让您将时间花在如何表征样品，而不是在光路调试上。这是通过实现具有预设光学特性的“测量"来实现的，如光束电流、会聚角、光斑大小和进动开或关一自动调整和对准。

这是一台像 TESCAN 扫描电镜一样易于使用的分析型4D-STEM，具备以结果为导向的电子显微镜的所有优点和效益。这也将带来经济效益，例如新手或新用户可以更快速且高效使用设备，从而导致更高的利用率，进而快速获得投资回报。

分析型 4D-STEM 理解——电子束-样品相互作用的全部信息

4D-STEM(4D扫描透射电子显微镜)是扫描透射电子显微术(STEM)的发展方向，它充分利用了混合像素直接电子探测器的创新，直接电子探测器捕捉STEM 图像中每个像素的电子衍射花样。使用这种方法，当电子束在实空间中的2D感兴趣区域(ROI)上扫描时，探测器能轻松获取每个像素的2D倒易空间信息(电子衍射花样)，因此称为4D-STEM。

但TENSOR更进一步，获得了4D-STEM 数据集中每个像素的EDS谱图和电子衍射花样。我们将这种独特的能力称为分析型4D-STEM。分析型4D-STEM与更传统的STEM 和STEM 断层扫描相结合，为功能材料、薄膜、合成或天然的纳米晶表征提供全面的解决方案。

测量功能

TENSOR 为材料科学家、半导体研发和失效分析人员以及晶体学家提供了众多已预设的STEM、4D- STEM 和断层扫描测量的参数：

√STEM BF，ADF和HAADF成像                         √STEM晶格成像

√成分（能谱分析和元素面扫）                           √取向/物相分布成像

√应力分布图                                                      √虚拟STEM

√STEM和EDS重构                                             √衍射重构

性能

从零开始开发的全新TENSOR，优化了 STEM 扫描的同步功能：

√混合像素的直接电子衍射相机

√2个无窗 EDS 探测器(2 个大立体角)进行快速地能谱采集

√快速，旋进电子束频率高达 72 kHz

√一体化的静电束闸

√近实时 4D-STEM 数据分析、处理和可视化软件

√都集成在模块化、中等加速电压、近超高真空(样品区域真空达到10-6Pa)的肖特基场发射电子枪上